精密加工是指在一定的发展时期，加工精度与表面质量达到较高程度的加工工艺。目前精密加工是指加工精度为1~0.1μm，表面粗糙度为Ra0.1~0.01μm的加工技术.
超精密加工则是指在一定的发展时期，加工精度与表面质量达到最高程度的加工工艺。显然，在不同的发展时期，精密与超精密加工有不同的标准。目前的超精密加工是指加工零件尺寸精度大于0.1μm，表面粗糙度Ra小于0.025μm，机床定位精度的分辨率和重复性大于0.01μm的加工技术，又称亚微米级加工技术，并正在向纳米级加工技术发展。
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